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德國耶拿
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半導體工藝良率提升關(guān)鍵:TOC污染監(jiān)控解決方案
隨著半導體技術(shù)邁向7nm、5nm及更先進制程,制造環(huán)境的潔凈度要求變得愈發(fā)嚴苛。其中,總有機碳(TOC)污染已成為影響晶圓表面質(zhì)量和產(chǎn)品良率的關(guān)鍵因素。高效精準的TOC監(jiān)控,成為半導體制造過程中不可或缺的一環(huán)。

半導體制造中的TOC控制要求
在半導體工藝流程中,超過80%的工序需要經(jīng)過化學處理,而每一道化學處理都離不開超純水。根據(jù)國際標準,一級電子級別超純水的TOC需低于5ppb(ASTM D5127標準),國內(nèi)標準要求低于20ppb(GB/T 11446.1-2013)。同時,電鍍液中的有機污染物也必須控制在3000-5000ppm以內(nèi),以確保PCB印制電路板的品質(zhì)穩(wěn)定。
行業(yè)面臨的TOC檢測挑戰(zhàn)
1.超低濃度檢測難:超純水中ppb級別的TOC準確測定
2.高濃度高鹽樣品:電鍍液中高TOC濃度與高鹽含量的干擾
3.濃度跨度大:不同數(shù)量級濃度樣品無法一次性測定
4.運營成本高:維護頻繁、耗材昂貴
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|精準突破一:
VITA流量管理系統(tǒng)
針對氧化過程中氣體流速波動問題,德國耶拿創(chuàng)新的VITA流量控制系統(tǒng),通過集成式高性能氣體控制盒確保氣體流速穩(wěn)定,電子控制實時調(diào)整補償流速波動。支持高達20ml大體積進樣,顯著提升痕量分析的精密度和靈敏度,檢出限達ppb級別。

【應(yīng)用實例:超純水TOC測定】
直接測定超純水樣品,標準偏差僅0.272μg/L,檢出限達0.816μg/L,遠優(yōu)于國家一級電子水標準要求。
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|精準突破二:
高效消解系統(tǒng)+高聚焦NDIR檢測器
采用高能雙波長紫外氧化技術(shù)(254+185nm),確保樣品完全消解為CO2。創(chuàng)新高聚焦NDIR檢測器采用平行光源設(shè)計,無能量損失、量程寬廣(0-30000mg/L),完美應(yīng)對高TOC濃度、高鹽樣品等復雜檢測需求。


【應(yīng)用實例:電鍍液TOC測定】
直接測定電鍍液樣品,加標回收率達101%-103%,重復性優(yōu)異,耐鹽性能卓越。
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|精準突破三:
智能多曲線匹配技術(shù)
獨創(chuàng)單測試方法同時連接低、中、高濃度三條標準曲線功能,儀器自動智能匹配最佳曲線,確保測試結(jié)果準確可靠。支持同樣品盤多方法選擇,大幅減少前處理時間。

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|精準突破四:
經(jīng)濟實用設(shè)計
1.高能長效紫外燈與高聚焦NDIR檢測器,壽命長、故障率低
2.半導體物理制冷除水,無耗材
3.模塊化設(shè)計,客戶可自行更換耗材
4.開放試劑,采購便捷,成本經(jīng)濟
結(jié)語
德國耶拿multi N/C總有機碳分析儀憑借其卓越的技術(shù)優(yōu)勢,為半導體行業(yè)提供了全面的TOC監(jiān)控解決方案,有效控制生產(chǎn)過程中的TOC水平,維持化學工藝穩(wěn)定性,降低因缺陷造成的返工和材料浪費,助力企業(yè)提升產(chǎn)品性能和良品率,是半導體品質(zhì)控制的理想伙伴。
END
上海恒奇儀器儀表有限公司,作為耶拿分析儀器的授權(quán)代理商,全心全意為您提供更多專業(yè)的定制化的服務(wù)。
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